皮拉尼真空計(jì)THERMOVAC TTR 916 N
真空壓力測(cè)量和原理
隨著真空應(yīng)用領(lǐng)域的拓展，對(duì)真空變送器量程的要求達(dá)到2000毫巴至10-12毫巴，測(cè)量范圍達(dá)16個(gè)數(shù)量級(jí)。
由于物理特性的原因，沒有一個(gè)單獨(dú)的真空計(jì)能夠在整個(gè)壓力范圍內(nèi)進(jìn)行定量測(cè)量。因此，真空提供一系列采用不同設(shè)計(jì)的具有各自特有測(cè)量范圍（測(cè)量原理應(yīng)用直接壓力測(cè)量和間接壓力測(cè)量）的真空計(jì)。
直接（）式壓力測(cè)量與被測(cè)量的氣體類型無關(guān)。利用機(jī)械方法，通過作用于薄膜表面的壓力進(jìn)行測(cè)量。
間接壓力測(cè)量通過測(cè)量氣體也壓力有關(guān)的性質(zhì)（例如熱導(dǎo)率，電離概率）進(jìn)行間接測(cè)量的，因此間接壓力測(cè)量的結(jié)果取決于具體的氣體類型。測(cè)量讀數(shù)是以空氣或氮?dú)鉃闇y(cè)量氣體時(shí)的讀數(shù)，對(duì)于其他氣體，可利用修正因數(shù)修正測(cè)量讀數(shù)。
真空變送器控制簡(jiǎn)單，極易與系統(tǒng)集成。
真空計(jì)的優(yōu)勢(shì)：
可靠性高
操作簡(jiǎn)單
測(cè)量結(jié)果重復(fù)性好
持續(xù)監(jiān)測(cè)若干測(cè)量地點(diǎn)
安裝簡(jiǎn)單并且節(jié)省成本和空間
測(cè)量地點(diǎn)和加工站之間的傳輸距離變長（可達(dá)100米）
通過數(shù)字/模擬接口將數(shù)據(jù)傳輸至PLC/計(jì)算機(jī)
符合電磁兼容性（EMC）要求
符合國際標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)程（CE,UL,RoHS,WEEE等）
THERMOVAC型變送器基于皮拉尼真空計(jì)的熱傳導(dǎo)原理設(shè)計(jì)，S型變送器配備集成的繼電器輸出，適合工藝控制。THERMOVAC型變送器帶有360°LED環(huán)顯示真空計(jì)的狀態(tài)。
優(yōu)勢(shì)
采用MEMS技術(shù)。耐沖擊，耐震動(dòng)
精度高，相應(yīng)速度快
可靠性高
TTR 91N(S)/ TTR 96N
測(cè)量原理
皮拉尼熱傳導(dǎo)真空計(jì)
量程范圍
5．10-5到1000mbar
TTR 911N(C/S)/ TTR 916N
TTR 911N和TTR 916N系列配置數(shù)字接口或者觸碰顯示器。C版帶有Parylene HT鍍膜適合腐蝕性應(yīng)用。
測(cè)量原理
皮拉尼熱傳導(dǎo)真空計(jì)
量程范圍
5．10-5到1000mbar
TTR 101N(S)
TTR 101N系列真空計(jì)的采用基于MEMS技術(shù)固態(tài)傳感器單元，耐沖擊和振動(dòng)。該真空計(jì)結(jié)合的皮拉原理與壓電原理的優(yōu)勢(shì)（10mbar到1500mbar測(cè)量結(jié)果與氣體種類無關(guān)）。
優(yōu)勢(shì)
復(fù)合真空計(jì)（MEMS皮拉尼與MEMS壓電薄膜）
精度高，量程寬
測(cè)量原理
皮拉尼熱傳導(dǎo)/壓電壓力
量程范圍
5．10-5到1500mbar
